Powlekanie próżniowe
Powlekanie próżniowe
Powlekanie elementów optycznych wykonywane jest metodą PAPVD (plasma assisted physical vapour deposition – parowanie z fazy stałej w asyście działa jonowego) w aparaturach próżniowych. Aparatury znajdują się w pomieszczeniu CleanRoom, klasa czystości 8 zgodnie z PN-EN 14644-1 (Temp. Pomieszczeń: : 22°C ±2°C. Wilgotność względna: 45% ±15%).
Posiadane aparatury próżniowe to:
- SYRUSpro 1350 – aparatura wykorzystywana do powłok w zakresie UV-VIS-NIR, posiada działo jonowe LION300RF (radio frequency plasma source) wspomagające proces powlekania próżniowego
- SYRUSpro 1110 DUV – aparatura wykorzystywana do powłok w zakresie UV-VIS-NIR-SWIR, posiada działo jonowe APSpro
- SYRUSpro 1110 IR – aparatura wykorzystywana do powłok w zakresie MWIR-LWIR, posiada działo jonowe APSpro
- SYRUS LCIII– aparatura wykorzystywana do powlekania zwierciadeł metalicznych, posiada działo jonowe MARK II
Przygotowanie elementów optycznych w myjce ultradźwiękowej ULTRON LUA-1000.
Wymienione aparatury służą do wykonania takich powłok, jak:
- Powłoki AR dla zakresu: VIS, VIS-NIR, SWIR, typu V
- Powłoki AR dla zakresu IR: MWIR (2 – 5 μm), LWIR (7 – 14 μm)
- Dla zakresu VIS, NIR, IR:
- Filtry krawędziowe, wąsko- i szerokopasmowe
- Powłoki światłodzielące dielektryczne
- Zwierciadła metaliczne
- Filtry ochronne przed promieniowaniem laserowym,
Maksymalna średnica powlekanych elementów wynosi 140 mm.
Wykonywane powłoki spełniają kryteria odpornościowe i wytrzymałościowe zgodne z normami PN‑ISO i MIL.
Podstawowe przyrządy i urządzenia wykorzystywane w projektowaniu powłok, procesach powlekania próżniowego oraz kontroli parametrów warstw na elementach optycznych to:
- Oprogramowanie OptiLayer służące do projektowania powłok cienkowarstwowych
- Mikroskop fotometryczny OPTON firmy ZEISS. Przyrząd umożliwia ocenę powierzchni elementu optycznego i rejestrację techniką fotograficzną.
- Spektrofotometr FT‑IR typ FTS 3000Gx Excalibur służący do pomiarów transmisji, absorbancji i odbicia światła od elementów optycznych i powłok cienkowarstwowych w paśmie 1,5 ¸ 20 m
- Spektrofotometr UV‑VIS‑NIR typ CARY 5000 do pomiarów transmisji, absorbancji i odbicia światła od elementów optycznych i powłok cienkowarstwowych w paśmie 0,185 ¸ 3,3 m
- Przystawka UMA do spektrofotometru CARY 5000 umożliwiająca pomiar parametrów optycznych dla dowolnego kąta padania wiązki światła w paśmie 0.300 ¸ 2,6 mm
- Maksymalna średnica mierzonych elementów optycznych wynosi 100 mm